이름: | ScAlMgO4 결정 기판 | 오리엔테이션: | [0001] 또는 [10-10] < ±0.5' |
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두께 / 직경 공차: | ±0.05 mm | 최대 디멘션: | dia 50×100mm |
하이 라이트: | 갈륨 가돌리늄 석류석,zno 웨이퍼 |
ScAlMgO4(MgScAlO4SCAM) 크리스탈은 일종의 GaN이고 최근에 이상적 기판 물질로 개발된 아연산화물 이형증착 이고, 현재 그것이 GaN과 일치하고 새로운 기판 materials.ScAlMgO4 크리스탈에서 아연산화물 최고가 아연 oxide.ScAlMgO4 크리스탈의 우르츠광 질화물과 구조와 유사한 능면체 층상 구조와 = 0.3246 nm, c = 2.5195 nm은 GaN에 쓸 일종의 이상적 기판 물질이고 GaN과 테미니멈 격자 부정합과 아연산화물인 아연산화물 에피택시 이라는 것을 끊임없이 계속되 격자구조화하는 육방 결정계입니다.
특징
애플리케이션
주요 상술
재료 |
ScMgAlO4 |
배향 |
[0001] 또는 [10-10] <> |
대비 |
10 |
수직 |
5 |
표면 품질 |
10/5 |
파면왜 |
/4@632nm |
표면 평탄도 |
/8@632nm |
개방 간극 |
>95% |
챔퍼 |
<0> |
두께 / 직경 공차 |
±0.05 밀리미터 |
최대 디멘션 |
dia 50×100mm |
코팅 |
AR/AR@940+1030HR@1030+HT@940+AR1030 |
재료 특성
물리적이고 케미칼캐릭터이스틱스
특성 |
ScMgAlO4 |
결정 구조 |
6각형 결정 시스템 |
격자 상수 |
= 0.3246nm, c=2.5195nm |
비중 |
3.64 g/cm3 |
모스 경도 |
4-5 모스 |
열팽창계수 |
A=7.4510-6 / C |